ESD特性測試方法根據產生靜電的模型,分為以下三種:①HBM、②MM、③CDM。
我們將為您說明其中較多被用來當作電容器ESD特性測試方法的①HBM。
① | HBM (Human Body Model:人體模型) | : | 假設由人體靜電放電時的測試 |
② | MM (Machine Model:機械模型) | : | 假設由機械靜電放電時的測試 |
③ | CDM (Charged Device Model:帶電設備模型) | : | 假設由帶電設備靜電放電時的測試 |
HBM的ESD測試規格有AEC-Q200-002和IEC61000-4-2等,HBM模型常數如下表所示,常數會因規格有所不同。
規格名 |
充電用電容器
Cd(pF)
|
放電用電阻
Rd (Ω)
|
---|---|---|
AEC-Q200-002 | 150 | 2000 |
IEC61000-4-2 | 150 | 330 |
AEC-Q200-002HBM的ESD測試電路及放電電流波形如圖1、圖2所示。
(i) | 開關2為斷開狀態,開關1閉合,施加高壓電源,充電用電容器(Cd)存儲電量。 |
(ii) | 開關1斷開,開關2閉合,電對測試對象電容器(Cx)施加Cd存儲的電量,進行測試。 |
※ | Cx:測試對象電容器 Cd:充電用電容器 Rd:放電用電阻 Rc:保護電阻 |
圖1.HBM的ESD測試電路
圖2.放電電流波形
圖3.HBM的ESD測試流程
分類 | 最大耐電壓 |
---|---|
1A | 500V(DC)以下 |
1B | 0.5kV(DC)以上 1kV(DC)以下 |
1C | 1kV(DC)以上 2kV(DC)以下 |
2 | 2kV(DC)以上 4kV(DC)以下 |
3 | 4kV(DC)以上 6kV(DC)以下 |
4 | 6kV(DC)以上 8kV(DC)以下 |
5A | 8kV(DC)以上 12kV(AD)以下 |
5B | 12kV(AD)以上 16kV(AD)以下 |
5C | 16kV(AD)以上 25kV(AD)以下 |
6 | 25kV(AD)以上 |
DC:直流接觸放電 AD:空氣放電
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